日本精工開(kāi)發(fā)出了減少粉塵產(chǎn)生量的直線導(dǎo)軌副“低生塵NSK直線導(dǎo)軌副”和滾珠絲杠“低生塵滾珠絲杠”。并將于2011年4月開(kāi)始上市。適合于半導(dǎo)體和液晶制造裝置等在清潔環(huán)境下使用的機(jī)械和搬運(yùn)裝置等。

　　新產(chǎn)品組合使用了日本精工已經(jīng)投產(chǎn)的低塵潤(rùn)滑油和新開(kāi)發(fā)的密封機(jī)構(gòu)。通過(guò)把直線導(dǎo)軌副和滾珠絲杠內(nèi)部產(chǎn)生的微小粒子密封起來(lái)，大幅減少了生塵量。該構(gòu)造能夠把導(dǎo)軌和絲杠軸之間的縫隙維持在最小狀態(tài)。

　　另外，日本精工將在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，東京有明國(guó)際會(huì)展中心）上展出該產(chǎn)品。

新開(kāi)發(fā)的直線導(dǎo)軌副和滾珠絲杠