可編程控制模塊
多設備雙線 RS-485/MODBUS RTU 通信方式
簡易流量控制安裝
在質量流量測量基礎上,Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質量流量計或流量控制器使得設備網(wǎng)絡組態(tài)更加方便。通過開源RTU協(xié)議,Compod™也可以監(jiān)控或診斷流量控制器的內(nèi)部系統(tǒng)參數(shù)值。用戶在配備了Compod™后可以對Smart-Trak®質量流量計和控制器進行更復雜的控制,兩路數(shù)字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數(shù)進行配置
• Gas mixing and blending
• Batch control
• Sensor driven leak testing
• Process monitoring
• Physical Vapor Deposition (Sputtering)
• 壓力監(jiān)控及控制
• 氣體比率控制
• 內(nèi)部閥門性能監(jiān)測
• 多報警信號設置
• 客戶自定義流量啟動停止配置
• 氣體累計及可調脈沖輸出設置
加配我們的創(chuàng)新Compod模塊到Smart-Trak 2產(chǎn)品上,簡單,節(jié)省費用
加載Compod后Smart-Trak 2可完整組網(wǎng),通過RS-485 Modbus RTU通信。成為了客戶低成本的強大多功能氣體控制系統(tǒng)的選擇
具備搭接多臺MFC到同一網(wǎng)絡,收發(fā)數(shù)據(jù),報警命令設置及遠程診斷,數(shù)據(jù)記錄功能
Smart-Trak 2 Compod模塊為復雜的多氣體控制系統(tǒng)大大降低成本