MFS2200D

實現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運！

大型液晶玻璃基板搬運機器人

負載：50KG

動態(tài)范圍：1780mm

控制柜：DX100

用途：搬運、潔凈室

特點：

適用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運。

高速、穩(wěn)定搬運，提高生產(chǎn)效率。

高度柔性動作，大幅度削減配套設(shè)備費用。

長期保持高潔凈度，降低運營成本。

大幅縮短生產(chǎn)線建立時間。

*1：依據(jù)JIS B8432標準

*2：潔凈度依據(jù)ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。

*3：根據(jù)用途、作業(yè)形式會有所不同。