SJ6000激光干涉儀角度測(cè)量和鏡組以及環(huán)境補(bǔ)償器，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個(gè)類(lèi)似于行李箱的工具箱中，整體加起來(lái)的重量輕，再加上一個(gè)可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架（裝在無(wú)紡編織袋中），隨時(shí)隨地可用于機(jī)械測(cè)量。激光干涉儀與環(huán)境補(bǔ)償器都有端口和計(jì)算機(jī)USB接口相連，實(shí)時(shí)傳遞檢測(cè)數(shù)據(jù)，供計(jì)算機(jī)檢定軟件測(cè)算，檢定過(guò)程輕松易掌握，沒(méi)有復(fù)雜的程序設(shè)定。
性能特點(diǎn)
1.精度高
SJ6000激光干涉儀角度測(cè)量以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣
- 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
- 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量；
- 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
- 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
- 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
- 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3.軟件強(qiáng)
- 友好的人機(jī)界面；
- 豐富的應(yīng)用功能模塊；
- 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/li>
- 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
SJ6000激光干涉儀角度測(cè)量是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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