- 檢測對象
- 更換傳感器,能夠檢測各種氣體
- 檢測范圍
- 根據規(guī)格而定
- 檢測原理
- 根據規(guī)格而定
- 檢測方式
- 泵吸引式
- 應用行業(yè)
- 石油化工、半導體制造等
產品描述:通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體
可通過PDA讀取數據
01.產品特點
● 通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器
● 傳感器經過校準和交付,無需現場氣體校準。此外,無需工具即可輕松更換傳感器
● 小巧·輕便的設計
● 通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度,報警狀態(tài)和錯誤信息
● 采樣流量的自動控制功能
● 當插入與設置不同的傳感器時,傳感器具有防止錯誤插入的功能
● 通過連接PDA,可以獲取存儲在檢測單元中的數據
● 轉換器單元(選件)可用于檢測NF3和CCl2
● 符合CE標準
● 符合SEMI標準
02.連接方式
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03.產品參數
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04.對應氣體一覽表
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05.可連接報警器
● UV-810(多點檢測)
● V3系列(面板嵌入式)
● NV-100M(單點檢測)