Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計，能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號占用空間僅11/8″，能節(jié)省寶貴的空間；結(jié)構(gòu)堅固，是要求長期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同，Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至5 Ra（***大7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實現(xiàn)無污染氣體輸送。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險區(qū)域
·符合CE 標(biāo)準(zhǔn)要求
·符合RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
常用型號
227G025PAE51106J 227G050PAE51106J 227G100PAE51106J 227G150PAE51106J 227G250PAE51106J 227G1000PAE51106J
227G3000PAE51106J 227G1R7BAE51106J 227G3R4BAE51106J 227G007BAE51106J 227G1017BAE51106J 227G035BAE51106J
227G070BAE51106J 227G2500BAE51106J 227GZ01PCE51106J 227GZ02PCE51106J 227GZ03PCE51106J 227GZ05PCE51106J
227G10CTAE51106J 227G20CTAE51106J 227G025PAE51106F 227G050PAE51106F 227G100PAE51106F227G150PAE51106F
227G250PAE51106F 227G1000PAE51106F 227G3000PAE51106F 227G1R7BAE51106F 227G3R4BAE51106F 227G007BAE51106F
227G1017BAE51106F 227G035BAE51106F 227G070BAE51106F 227G2500BAE51106F 227GZ01PCE51106F 227GZ02PCE51106F
227GZ03PCE51106F 227GZ05PCE51106F 227G10CTAE51106F 227G20CTAE51106J
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