備有從光電開關(guān)接近開關(guān)到限位開關(guān)、地震傳感器等豐富的產(chǎn)品,滿足各種需求。
根據(jù)可見、不可見光線的反射或遮光之一檢測物體。備有放大器內(nèi)置型、光纖型。
主要用于半導(dǎo)體及液晶制造工序檢測使用的藥液、純水等的液面或漏液、晶元匹配用光纖單元或LED等微小部品的落下檢測用光纖單元等特定用途的光學(xué)式傳感器系列。 主要用于檢測半導(dǎo)體液晶制造時(shí)的露光、洗凈、熱處理工序所使用的藥液、純水等的液面、漏液,采用獨(dú)自的光學(xué)系實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定檢測、省空間,支持失效保護(hù)。 晶元匹配時(shí)使用的狹光光纖單元、LED等微小部品的落下檢測用光纖單元采用適合用途的光學(xué)設(shè)計(jì)及筐體設(shè)計(jì),使高檢測性能與省空間得到了統(tǒng)一,減少了調(diào)整工時(shí),也提高了維護(hù)性。
* 2012年3月之前的內(nèi)容里,含有一部分舊名稱,敬請諒解。
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