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MEMS傳感器向集成化智能化發(fā)展

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-15     來源:[標簽:出處]     作者:[標簽:作者]     瀏覽次數:94
核心提示:

  受益于我國汽車電子、新型數字消費電子和醫(yī)療電子等產業(yè)的快速發(fā)展,國內市場對傳感器的需求呈現出快速增長的態(tài)勢。據中國電子信息產業(yè)發(fā)展研究院預測,未來五年國內傳感器市場年復合增長率將超30%。汽車、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標簽卡領域的傳感器市場增長較快。總體來看,中國傳感器市場前景廣闊。

  在此背景下,以MEMS為代表的智能傳感器技術得到了快速的發(fā)展。與傳統(tǒng)的傳感器技術相比,MEMS體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產、智能化高,F在正處于高速發(fā)展期。而作為微機械IC行業(yè)的先鋒,ADI公司20多年來一直都是MEMS創(chuàng)新產品的領導者,不僅提供全面的慣性檢測解決方案,包括iMEMS加速度計和陀螺儀、 iSensor™ 智能傳感器以及慣性測量單元(IMU);同時MEMS技術還簡化了運動檢測在工業(yè)、醫(yī)療、消費電子、通信和汽車等眾多領域中的應用,深受全球的市場領先公司歡迎。

  MEMS芯片結構,檢測加速度和旋轉

  ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝表示,眾多新興機遇的涌現客觀上促進MEMS技術的創(chuàng)新。技術發(fā)展的主要趨勢為:強調MEMS的系統(tǒng)性和傳感器、處理與識別的協調發(fā)展,突破傳感器同信息處理與識別技術與系統(tǒng)的研究、開發(fā)、生產、應用和改進分離的體制,按照信息論與系統(tǒng)論,應用工程的方法,同計算機技術和通訊技術協同發(fā)展。

  趙延輝ADI微機械產品線高級應用工程師

  MEMS技術在未來的發(fā)展主要表現在以下幾個方面:第一,微型化的同時降低功耗。將會出現微米甚至納米級別的微型器件,同時降低功耗;第二,微型化的同時提高精度,將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性,保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩(wěn)定性,且可提供遠優(yōu)于光纖陀螺儀的抗沖擊特性;第三,集成化及智能化趨勢,即MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發(fā)展,以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的自動化。這些趨勢要求半導體廠商提供更高精度、穩(wěn)定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊;诖耍珹DI繼續(xù)將重點放在開發(fā)MEMS傳感器的核心技術,以提供最好的工業(yè)級加速度計和陀螺儀。同時,ADI還將繼續(xù)提供更多高集成度的MEMS傳感器,以適應不同市場的需求。

  在具體應用領域,趙延輝介紹到,ADI可以針對不同的運動監(jiān)測,提供完整的信號鏈解決方案。比如振動監(jiān)測,一般需要三軸加速度傳感器,而后用ADC采樣加速度數據,再用CPU對加速度數據做FFT處理,以分析振動頻率,而這些功能都可以用我們一顆芯片如ADIS16228實現。再比如導航應用,一般需要三軸的加速度計來測量速度和位移,三軸的陀螺儀來測量航向角,俯仰角,滾轉角的變化,三軸的磁力計來測量初始方位,一個氣壓計來測量高度變化,傳統(tǒng)的解決方案是需要用戶自己搭建正交系統(tǒng),而后再做傳感器調理,補償,校準等工作。現在只需要用ADI的十自由度IMU如ADIS16480即可實現單芯片的解決方案。

  ADIS16480:10自由度高精度MEMSIMU

  同時,ADI的MEMS產品不只是關注基本運動檢測或新穎的功能,更關注至關重要的系統(tǒng)性能參數,安全和可靠性,以及在極端環(huán)境下的芯片性能。比如我們新一代的四核陀螺儀ADXRS453,ADXRS646等,可以提供出色的振動抑制特性,在有外界振動干擾的情況下依然可以保證精度輸出。再比如我們的雙軸加速度計ADXL206,在高溫175°C的環(huán)境下,依然可以保持靈敏度,噪聲和零點精度等關鍵性能。

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